边缘斜角附近之气体轮廓之成形方法与设备

摘要

提供一种在制程腔室内蚀刻基板边缘斜角的方法。此方法包括使惰性气体流入定义在基板中心范围上方的制程腔室区域，及使惰性气体与制程气体的混合气体流至基板边缘区域上。此方法更包括在边缘区域激发电浆，惰性气体流与混合气体流于该区大体上维持制程气体之质量分率不变。还提供一种用以清洗基板边缘斜角的制程腔室。