激光加工装置和激光加工方法

摘要

本发明提供激光加工装置和激光加工方法，其无论被加工物的激光照射面状态如何都能实施均匀的激光加工。对被加工物实施激光加工的激光加工装置的特征在于具有：卡盘台，其保持被加工物；激光束照射构件，其包括激光振荡器和加工头，该加工头具有聚光透镜，该聚光透镜对从该激光振荡器振荡出的激光束进行会聚；反射光量检测构件，其检测从该激光束照射构件照射到保持于该卡盘台的被加工物的激光束的反射光量；以及级数计算构件，其基于该反射光量检测构件检测出的反射光量，计算利用该激光束照射构件沿着被加工物的厚度方向实施多级激光加工的级数。

主权项

一种激光加工装置，其对被加工物实施激光加工，该激光加工装置的特征在于具有：卡盘台，其保持被加工物；激光束照射构件，其包括激光振荡器和加工头，该加工头具有聚光透镜，该聚光透镜对从该激光振荡器振荡出的激光束进行会聚；反射光量检测构件，其检测从该激光束照射构件照射到保持于该卡盘台的被加工物上的激光束的反射光量；存储单元，其存储有基准数据和相关图，该基准数据是预先对具有已知反射率的多个基准工件照射激光束并检测反射光量，并将反射率与反射光量之间的关系绘制而得的，该相关图示出被加工物的反射率与适当的加工级数之间的相关关系；以及级数计算构件，其基于由该反射光量检测构件检测出的反射光量，计算利用该激光束照射构件沿着被加工物的厚度方向实施多级激光加工的加工级数，该级数计算构件参照存储在该存储单元中的该基准数据，求出与该反射光量检测构件检测出的反射光量对应的反射率，并根据该反射率且参照该相关图来计算加工级数。