关键尺寸测量装置的光量强度调整系统及调整方法

摘要

本发明提供一种关键尺寸测量装置的光量强度调整系统、关键尺寸测量装置的光量强度调整方法，属于关键尺寸测量技术领域，其可解决现有的光量强度调整系统光量强度的补正调节效果不佳，光量强度不稳定，无法准确调整补正量的问题。本发明的光量强度调整系统通过设置光量强度测量单元和模数转换单元使光量强度变化的光学信号实时的转化为可处理的数字信号，方便了对光量强度调整系统的操作；同时通过设置补正量计算单元准确的计算得到补正量，有利于实现准确的光量强度调整。

主权项

一种关键尺寸测量装置的光量强度调整方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、获取初始光量强度范围内的若干点，并设置为基准光量点，并设置各基准光量点的光量强度管控范围；S2、执行经验补正量，获得各基准光量点补正后的光量强度，判断各基准光量点补正后的光量强度是否全部符合基准光量点光量强度的管控范围，若是，则结束光量强度调整，若否，则执行下述步骤；S3、根据各基准光量点补正后与补正前的光量强度计算当前补正量；S4、根据基准光量点补正后的光量强度与补正前光量强度的差值来确定的补正方向，若基准光量点补正后的光量强度大于补正前光量强度，则向降低光量强度的方向进行补正，若基准光量点补正后的光量强度小于补正前光量强度，则向增加光量强度的方向进行补正；S5、执行当前补正量，获得各基准光量点补正后的光量强度，判断各基准光量点补正后的光量强度是否符合上述的基准光量点光量强度的管控范围；若是，则结束光量强度调整；若否，则判断补正次数是否达到预定值，若未达到，则执行步骤S3，若达到，则报警。