发明名称 |
導電性ガイド板を通る信号経路及び導電性ガイド板の間の2次経路を備えるマルチパス電気プローブ並びにプローブ・アセンブリ |
摘要 |
【課題】試験プローブのループ・インダクタンスなどのインダクタンスを低減させることが可能な改良を、試験プローブに提供する。【解決手段】マルチ導電パス・プローブは、第1の接触端部から第2の接触端部への導電性信号経路を提供することができる。プローブは、導電性2次経路と、信号経路と2次経路との間の電気的に絶縁されたギャップと、も含むことができる。ギャップは比較的小さいため、プローブに低いループ・インダクタンスを提供することができる。プローブ・アセンブリは、実質的に平行の導電性ガイド板内の通路内に配設された、複数のこうしたプローブを備えることができる。【選択図】図1A |
申请公布号 |
JP2016524169(A) |
申请公布日期 |
2016.08.12 |
申请号 |
JP20160525466 |
申请日期 |
2014.07.09 |
申请人 |
フォームファクター, インコーポレイテッド |
发明人 |
エルドリッジ,ベンジャミン |
分类号 |
G01R1/073;G01R1/067;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R1/073 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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