发明名称 用于将结构精确施加到基板上的方法和设备
摘要 本发明涉及用于将结构精确施加到基板上的方法和设备。一种提供基板的方法,包括:提供基板;提供加工头;扫描步骤,其中由加工头的至少一个扫描装置检测已经施加到基板上的结构;喷墨打印步骤,其中用加工头的喷墨打印装置向基板上局部施加漆以形成漆结构,其中用扫描步骤获得的信息还用于在需要的位置沉积漆结构;照射步骤,其中通过使用扫描步骤获得的信息,照射装置局部照射施加的漆结构;紧接在喷墨打印步骤之前,用第一扫描装置进行第一扫描步骤。还涉及实施该方法的设备,包括:基板载体;加工头,相对于基板(S)可移动;控制装置,构造成控制:扫描步骤;喷墨打印步骤;照射步骤;紧接在喷墨打印步骤之前,进行第一扫描步骤。
申请公布号 CN102933038B 申请公布日期 2016.08.31
申请号 CN201210441745.2 申请日期 2005.04.22
申请人 罗特·劳有限公司 发明人 马里纳斯·弗朗西斯库斯·约翰内斯·埃弗斯;彼得·布赖尔;科内利斯·彼得鲁斯·杜 波
分类号 H05K3/12(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;H01L51/00(2006.01)I 主分类号 H05K3/12(2006.01)I
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人 张英;刘书芝
主权项 一种用于将结构精确施加到基板上的方法,包括:·提供基板(S),所述基板具有已经施加到所述基板上的结构;·提供加工头,所述加工头相对于所述基板(S)可移动配置,并且具有:○喷墨打印装置(1);○包括第一扫描装置的至少一个扫描装置,从所述加工头相对于所述基板移动的相对方向看,所述第一扫描装置设置在所述喷墨打印装置(1)的上游一侧,○至少一个照射装置,构造成局部照射施加的漆结构;·扫描步骤,其中由所述加工头的所述至少一个扫描装置检测已经施加到所述基板上的结构;·喷墨打印步骤,其中用所述加工头的所述喷墨打印装置向所述基板上局部施加漆(10)以形成漆结构,其中用所述扫描步骤获得的信息还用于在需要的位置沉积所述漆结构;·照射步骤,其中通过使用所述扫描步骤获得的信息,所述至少一个照射装置局部照射施加的所述漆结构;·紧接在所述喷墨打印步骤和所述照射步骤之前,用所述第一扫描装置进行第一所述扫描步骤,为此在所述加工头上设置了所述第一扫描装置,并且从所述加工头相对于所述基板移动的相对方向看,所述第一扫描装置处于所述照射装置和所述喷墨打印装置的上游一侧。
地址 荷兰艾恩德霍芬