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发明名称
摘要
申请公布号
DE2049904(A1)
申请公布日期
1971.05.13
申请号
DE19702049904
申请日期
1970.10.10
申请人
NCR CO
发明人
分类号
H01L21/22;F27D11/02;H01L21/205;H01L21/31;H05B3/00;(IPC1-7):H01L/
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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