发明名称 PROCEDE DE FORMATION SELECTIVE D'UN FILM DEPOSE
摘要 <P>L'INVENTION CONCERNE UN PROCEDE DE FORMATION SELECTIVE D'UN FILM DEPOSE SUR UN SUBSTRAT.</P><P>IL CONSISTE A FORMER SELECTIVEMENT UN FILM DEPOSE SUIVANT UN DESSIN SOUHAITE SUR UNE SURFACE DE DEPOSITION COMPRENANT PLUSIEURS MATIERES DE TYPES DIFFERENTS, FACONNEES DE FACON CORRESPONDANTE AU DESSIN, ET PRESENTANT DES DENSITES DE FORMATION DE GERMES DIFFERENTES POUR LA MATIERE DEPOSEE FORMANT LE FILM.</P><P>DOMAINE D'APPLICATION: FABRICATION DE CIRCUITS INTEGRES, ETC.</P>
申请公布号 FR2588416(A1) 申请公布日期 1987.04.10
申请号 FR19860013927 申请日期 1986.10.07
申请人 CANON KK 发明人 TAKAO YONEHARA
分类号 H01L21/20;H01L21/3205;H01L21/763;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/28 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址