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发明名称 CONTROLLORE DI SCANSIONE PER DISPOSITIVO IMPIANTATORE DI IONI
摘要
申请公布号 IT1199959(B) 申请公布日期 1989.01.05
申请号 IT19850047777 申请日期 1985.03.06
申请人 MCGUIRE EDWARD LEO III 发明人 MCGUIRE EDWARD LEO III
分类号 H01J37/147;H01J37/24;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
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