发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01151232(A) 申请公布日期 1989.06.14
申请号 JP19870310504 申请日期 1987.12.08
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 ISHIWATARI OSAMU
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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