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发明名称 PROJECTION TYPE EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02142112(A) 申请公布日期 1990.05.31
申请号 JP19880294598 申请日期 1988.11.24
申请人 NIKON CORP 发明人 NISHI TAKECHIKA;KAKIZAKI YUKIO;IWATA HIROMITSU
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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