发明名称 SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP0354449(A3) 申请公布日期 1991.01.02
申请号 EP19890114205 申请日期 1989.08.01
申请人 SEIKO EPSON CORPORATION 发明人 IWAMATSU, SEIICHI C/O SEIKO EPSON CORPORATION
分类号 H01L29/04;H01L29/10;H01L29/423;(IPC1-7):H01L29/04;H01L29/60;H01L29/784;H01L29/812 主分类号 H01L29/04
代理机构 代理人
主权项
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