发明名称 |
SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0354449(A3) |
申请公布日期 |
1991.01.02 |
申请号 |
EP19890114205 |
申请日期 |
1989.08.01 |
申请人 |
SEIKO EPSON CORPORATION |
发明人 |
IWAMATSU, SEIICHI C/O SEIKO EPSON CORPORATION |
分类号 |
H01L29/04;H01L29/10;H01L29/423;(IPC1-7):H01L29/04;H01L29/60;H01L29/784;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L29/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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