发明名称 ION IMPLANTING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH0374840(A) 申请公布日期 1991.03.29
申请号 JP19890211107 申请日期 1989.08.16
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 NAKAMURA NORIAKI
分类号 H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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