发明名称 ETCHING AND ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03159235(A) 申请公布日期 1991.07.09
申请号 JP19890298914 申请日期 1989.11.17
申请人 SONY CORP 发明人 YANAGIDA TOSHIHARU
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/3065;H01L21/311 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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