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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03174763(A) 申请公布日期 1991.07.29
申请号 JP19890313375 申请日期 1989.12.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAKEUCHI MIKI;NAKAGOME YOSHINOBU;ITO KIYOO
分类号 H01L27/04;H01L21/336;H01L21/822;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L27/088;H01L27/10;H01L27/108;H01L29/78 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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