发明名称 |
DISPOSIZIONE PER LA POLVERIZZAZIONE CATODICA SECONDO IL PRINCIPIO DEL MAGNETRON PER IL RIVESTIMENTO DI UNA SUPERFICE A FORMA DI ANELLO CIRCOLARE |
摘要 |
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申请公布号 |
ITMI921969(D0) |
申请公布日期 |
1992.08.10 |
申请号 |
IT1992MI01969 |
申请日期 |
1992.08.10 |
申请人 |
LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
BRAUER GUNTER;SCHULTHEISS EBERHARD |
分类号 |
C23C14/35;C23C14/34;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/35 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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