发明名称 POSTOPEK PRIPRAVE POVRSINE SUBSTRATA PRI IZDELAVI INTERDIGITALNIH ELEKTROD
摘要 da na ocisceno podlago iz opticne keramike, kot na bazi svincevega-cirkonijevega titanata v molskem razmjeru Pb = 0,905 La = 0,095 Zr = 0,65 Ti = 0,35 O3 = 3, nanesemo tanko, kot okoli 250 nm debelo, plast kislinsko odpornega in antirefleksnega sloja, kot kremena ali cirkonijevega oksida, nanj pa 3,3 do 5,5 m debel sloj kislinsko odpornega foto-laka ali akrilata, nakar vgraviramo kanele in tako obdelani substrat potopimo v vodno, ogreto mineralno kislino, kot H3PO4, HNO3 ali H2SO4 kot s temperaturo 40 do 60°C, speremo z vodo in odstranimo sloj zascitnega laka s topilom, kot acetonom, etil acetatom ali metil etil ketonom.
申请公布号 YU46278(B) 申请公布日期 1993.05.28
申请号 YU19830001924 申请日期 1983.09.23
申请人 INSTITUT "JOZEF STEFAN" 发明人 PIRS, S.;MARIN, B.;PIRS, J.;MUSEVIC J.;KOGOJ, M.
分类号 H01L31/00 主分类号 H01L31/00
代理机构 代理人
主权项
地址