发明名称 Surface Preparation and Deposition Method for Titanium Nitride Onto Carbonaceous
摘要
申请公布号 CA2121266(A1) 申请公布日期 1994.03.03
申请号 CA19932121266 申请日期 1993.08.11
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO 发明人 NIEH SIMON K;MATOSSIAN JESSE N;KRAJENBRINK FRANS G;SCHUMACHER ROBERT W
分类号 C23C14/02;C23C14/06;C23C14/34 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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