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发明名称 INSPECTING APPARATUS FOR MATRIX CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH06342028(A) 申请公布日期 1994.12.13
申请号 JP19930321828 申请日期 1993.12.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KOBAYASHI AKIHIRO
分类号 G01R31/02;G01R31/28;(IPC1-7):G01R31/02 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
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