发明名称 OPTICAL DISPLACEMENT DETECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06341862(A) 申请公布日期 1994.12.13
申请号 JP19920222187 申请日期 1992.07.29
申请人 MITSUTOYO CORP 发明人 KUROKI SHINGO;ISHIBASHI WATARU;NOBORI KOUGUN
分类号 G01B11/00;G01D5/244;G01D5/245;G01D5/38;(IPC1-7):G01D5/38 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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