MANUFACTURE OF ETCHED SUBSTRATES SUCH AS INFRARED DETECTORS.

摘要

Une ouverture étroite et profonde (1) est produite par attaque chimique dans et/ou à travers un corps (10) tel que le telluriure de mercure de cadmium ou autre matériau sensible aux infrarouges. Le réactif d'attaque est confiné et son action est plus rapide à proximité adjacente des parois latérales (4 et 5) d'un masque (2) sur le corps (10); ces parois latérales (4 et 5) sont suffisamment proches l'une de l'autre pour que les zones où s'est produite une attaque rapide se chevauchent. Généralement, des ouvertures ou des fentes (1) ayant une largeur (Y2) d'environ 7 mum peut être produite par attaque chimique de cette manière sur une épaisseur (Z2) de 5 mum par l'intermédiaire des fenêtres (3) ayant une largeur (Y1) de 3 mum dans un masque de réserve (2) d'une épaisseur (Z3) comprise entre 4 et 5 mum.