发明名称 Werkwijze voor het vervaardigen van een ferro-elektrische dunne-filmcondensator.
摘要
申请公布号 NL1002666(C2) 申请公布日期 1998.10.01
申请号 NL19961002666 申请日期 1996.03.20
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHEE-WON CHUNG
分类号 H01L21/8247;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/311 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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