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发明名称 Verfahren zum Betreiben eines Vakuumlichtbogenverdampfers und Stromversorgungseinrichtung dafür
摘要
申请公布号 DE59505804(D1) 申请公布日期 1999.06.10
申请号 DE19955005804 申请日期 1995.01.25
申请人 GRIMM, WERNER, DR., 01326 DRESDEN, DE 发明人 GRIMM, WERNER, D-01326 DRESDEN, DE;ELLRODT, MARIO, D-39387 OSCHERSLEBEN, DE
分类号 C23C14/00;C23C14/32;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/00 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
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