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经营范围
发明名称
Chemical-mechanical polishing machine and retainer ring thereof
摘要
申请公布号
GB9920572(D0)
申请公布日期
1999.11.03
申请号
GB19990020572
申请日期
1998.09.16
申请人
UNITED MICROELECTRONICS, CORP.
发明人
分类号
B24B37/04;B24B57/02
主分类号
B24B37/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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