穿透式电子显微镜试片之制作方法

摘要

一种穿透式电子显微镜试片之制作方法。此方法为提供一待检测片，此待检测片的上表面具有一分析标的物，且分析标的物周围已标记出至少一记号。然后，在待检测片的上表面形成一覆盖层，之后于覆盖层上形成一基座。接着，进行一背面研磨制程，移除部分待检测片，直至由待检测片的下表面利用一光学显微镜可观察到前述记号。随后，进行一试片临场切片拉起步骤，以取出包含分析标的物与记号的一薄片状物，以作为穿透式电子显微镜试片。