| 摘要 |
本发明揭示一种配合微机电制程技术所制作出之水下声响微感测器，包含：一组压阻、一防水薄膜、一绝缘材料、一感测薄膜，以及一组导线电路。于该薄膜的感测面铺上适当的压阻材料；采用金导线连接四个压阻形成惠斯敦电桥电路，其中两个位于薄膜上方压阻为感测端压阻，因薄膜结构变形而产生阻值改变；并以背后蚀刻方式蚀刻出适当厚度之悬浮薄膜结构；最后涂布一聚对二甲苯基之防水层。本发明系利用该感测薄膜结构之自然振频特性，于接受接近结构自然振频的特定频率范围的声波时，该感测器输出讯号会产生较高的讯杂比，藉此接收水下声波所传递之讯号内容。 |
