基板搬送装置及基板搬送方法

摘要

一种基板搬送装置，系具备：主输送带，系对基板进行单片式搬送；分歧输送带，系自前述主输送带水平地分歧；以及基板交接部，系在维持相对于前述基板之行进方向之朝向之状态下，一面使该基板水平转动一面将前述基板自前述主输送带交接至前述分歧输送带、或自前述分歧输送带交接至前述主输送带。