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发明名称 RAMJET AIR KNIFE, APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE AND EQUIPMENT FOR CIRCUIT BOARD PROCESS COMPRISING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20090046656(A) 申请公布日期 2009.05.11
申请号 KR20080008803 申请日期 2008.01.28
申请人 KIM, HAK SA 发明人 KIM, HAK SA
分类号 H01L21/304;H01L21/677 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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