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发明名称 Electrode for use in a plasma assisted chemical etching process
摘要
申请公布号 IL109588(D0) 申请公布日期 1994.08.26
申请号 IL19940109588 申请日期 1994.05.06
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人
分类号 C23F4/00;H01J27/08;H01J37/08;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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