发明名称 晶片的结合方法
摘要 晶片的结合方法,包括以下步骤:首先,提供一第一基板,第一基板的其中一面为一第一贴合面。接着,在第一基板的第一贴合面形成一光硬化接着剂薄层。之后,以一第一促发波长灯具对光硬化接着剂薄层进行照射,以使光硬化接着剂薄层初步固化。然后,提供一第二基板,第二基板的其中一面为一第二贴合面,将第二贴合面贴合在第一基板的第一贴合面上。之后,以一第二促发波长灯具对光硬化接着剂薄层进行照射,以使光硬化接着剂薄层完全固化。其中,第二促发波长灯具的瓦数值会高于第一促发波长灯具的瓦数值。
申请公布号 TWI534914 申请公布日期 2016.05.21
申请号 TW102144306 申请日期 2013.12.04
申请人 国立台湾科技大学 发明人 陈品铨;刘育旻
分类号 H01L21/58(2006.01) 主分类号 H01L21/58(2006.01)
代理机构 代理人 陈思源
主权项 一种晶片的结合方法,包括:a.提供一第一基板,该第一基板的其中一面为一第一贴合面;b.在该第一基板的该第一贴合面形成一光硬化接着剂薄层;c.以一第一灯具对该光硬化接着剂薄层进行照射,以使该光硬化接着剂薄层初步固化;d.提供一第二基板,该第二基板其中一面为一第二贴合面,将该第二贴合面贴合在该第一基板的该第一贴合面上;及e.以一第二灯具对该光硬化接着剂薄层进行照射,以使该光硬化接着剂薄层完全固化;其中,该第二灯具的瓦数值高于该第一灯具的瓦数值;在步骤b中,该光硬化接着剂薄层是以旋转涂布的方式形成在该第一基板的第一贴合面上,其中该旋转涂布的方式是以第一阶段与第二阶段的方式进行,该第一阶段是使用第一转速值对该第一基板进行旋转,该第二阶段是使用第二转速值对该第一基板进行旋转,该第二转速值高于该第一转速值。
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