HIGH SPEED COPPER PLATING BATH

摘要

구리염(copper salt)과 적어도 하나의 산(acid)을 포함하는 수용액과, 고상의 구리염(copper salt in solid form)을 포함하는 용기(container)를 포함하는 구리 전기도금조(copper electroplating bath)가 개시되어 있다. 용기는 고상의 구리염을 용기 내에 보유하면서, 수용액의 구리 이온 농도를 포화수준으로 유지하기 위해, 구리 이온을 수용액에 공급한다.