| 摘要 |
본 발명은 광주파수/강도 변조 레이저 흡수 분광 장치 및 광주파수/강도 변조 레이저 흡수 분광 방법을 제공한다. 이 광주파수/강도 변조 레이저 흡수 분광 장치는 측정 대상에 프로브 빔을 제공하고 소정의 주파수 대역에서 변조 주파수(f)로 상기 프로브 빔의 광주파수를 변조하고 상기 변조 주파수(f)로 상기 프로브 빔의 강도를 변조하는 레이저 광원부; 상기 측정 대상에서 반사, 투과, 또는 산란된 프로브 빔을 전기 신호로 변환하는 광감지부; 및 상기 광감지부의 출력 신호인 레이저 흡수 신호를 처리하여 상기 변조 주파수(f)의 1차 고주파 성분(M) 및 상기 변조 주파수(f)의 2차 고조파 성분(M)을 추출하고 상기 변조 주파수(f)의 1차 고조파 성분(M)과 상기 변조 주파수의 2차 고조파 성분(M)의 비(M/M)를 이용하여 상기 측정 대상에 의한 상기 프로브 빔의 흡수도를 산출하는 처리부를 포함한다. |
