Mikromechanisches Bauelement mit Schrägstruktur und entsprechendes Herstellungsverfahren

摘要

Mikromechanisches Bauelement mit: einem Substrat (1) mit einer Oberfläche (O); einem ersten Anker (3e; 3e'), welcher auf der Oberfläche (O) des Substrats (1) vorgesehen ist und welcher sich vom Substrat (1) weg erstreckt; mindestens einem an einer Seitenfläche (S1, S2; S1'; S1'') des Ankers (3e; 3e') vorgesehenen Ausleger (3c, 3d; 3c'), welcher schräg vom Anker (3e; 3e') weggerichtet ist, wobei ein erster und zweiter Anker (3e') auf der Oberfläche (O) des Substrats (1) durch einen Zwischenraum (Z) voneinander beabstandet vorgesehen sind, welche über einen jeweiligen Ausleger (3c') mit der Oberfläche (O) des Substrats (1) verbunden sind, und wobei in dem Zwischenraum (Z) eine Aufhängung (5) für eine Drehachse (A) eines Drehbalkens (10) angebracht ist.