| 发明名称 |
METHOD OF REMOVING ALKALI METAL IMPURITY FROM AN OXIDE COATING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3470076(A) |
申请公布日期 |
1969.09.30 |
| 申请号 |
USD3470076 |
申请日期 |
1967.01.10 |
| 申请人 |
U.S. PHILIPS CORP. |
发明人 |
THOMAS KLEIN;KEITH HARLOW NICHOLAS |
| 分类号 |
H01L21/3105;H01L21/316;(IPC1-7):B01K1/00 |
主分类号 |
H01L21/3105 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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