发明名称 THREE-DIMENSIONAL INTEGRATED CIRCUITS AND METHODS OF MAKING SAME
摘要
申请公布号 US3613226(A) 申请公布日期 1971.10.19
申请号 USD3613226 申请日期 1969.01.27
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC. 发明人 ROBERT W. HAISTY;ROWLAND E. JOHNSON;EDWARD W. MEHAL
分类号 H01L21/00;H01L21/60;H01L21/74;H01L21/822;H01L23/535;H01L27/00;H01L27/06;(IPC1-7):B01J17/00;H01L1/16 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
地址