METHOD AND APPARATUS FOR ASHING ORGANIC SUBSTANCE,申请号USD3671195-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND APPARATUS FOR ASHING ORGANIC SUBSTANCE
摘要
申请公布号	US3671195(A)	申请公布日期	1972.06.20
申请号	USD3671195	申请日期	1968.08.19
申请人	INTERN. PLASMA CORP.	发明人	RICHARD L. BERSIN
分类号	G01N31/12;(IPC1-7):G01M1/00;H05H1/16	主分类号	G01N31/12
代理机构		代理人
主权项
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