| 发明名称 |
ELECTRON BEAM FABRICATION SYSTEM AND PROCESS FOR USE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3679497(A) |
申请公布日期 |
1972.07.25 |
| 申请号 |
USD3679497 |
申请日期 |
1969.10.24 |
| 申请人 |
WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP. |
发明人 |
ROBERT M. HANDY;STEPHEN J. ANGELLO;PAUL R. MALMBERG;TERENCE W. O'KEEFFE |
| 分类号 |
H01L21/027;F15C5/00;G01Q30/08;G03F7/20;H01J37/302;H01L21/00;H01L23/29;(IPC1-7):B44C1/22;H01J37/26;B23P1/00 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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