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发明名称 GASEOUS PLASMA REACTION APPARATUS
摘要
申请公布号 US3875068(A) 申请公布日期 1975.04.01
申请号 US19730333880 申请日期 1973.02.20
申请人 TEGAL CORPORATION 发明人 MITZEL, JAMES W.
分类号 B01J3/00;B01J12/00;B01J19/12;H05H1/46;(IPC1-7):H01T19/00;B01K3/00 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
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