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发明名称 HEAT TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01161829(A) 申请公布日期 1989.06.26
申请号 JP19870321062 申请日期 1987.12.18
申请人 TEL SAGAMI LTD 发明人 KINOSHITA KENICHI
分类号 H01L21/22;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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