发明名称 MICRO PROBE DEVICE AND MULTI-MICRO PROBE
摘要
申请公布号 JPH06308164(A) 申请公布日期 1994.11.04
申请号 JP19930099211 申请日期 1993.04.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SHIBAIKE SHIGETO;MATSUMOTO SATOSHI
分类号 G01R1/073;H02N2/00 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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