发明名称 PRODUCTION OF OXIDE THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0372076(A) 申请公布日期 1991.03.27
申请号 JP19890207448 申请日期 1989.08.10
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 UEI KUNIHIKO
分类号 C30B29/22;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/448 主分类号 C30B29/22
代理机构 代理人
主权项
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