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发明名称 SURFACE INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03118453(A) 申请公布日期 1991.05.21
申请号 JP19890256617 申请日期 1989.09.29
申请人 SUMITOMO LIGHT METAL IND LTD;KOWA BOSEKI KK 发明人 TAKAHASHI NOBUYUKI;ONO TSUKANE
分类号 G01N21/88;G01N21/94 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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