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经营范围
发明名称
HEAT TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH03169009(A)
申请公布日期
1991.07.22
申请号
JP19890307727
申请日期
1989.11.29
申请人
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD;HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD
发明人
MASUYAMA SHIGEJI;TATEFURU NOBORU;HAYAKAWA JUNICHI;AMANO TOMOAKI
分类号
H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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