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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINES DUENNFILMES.
摘要
申请公布号 DE3585048(D1) 申请公布日期 1992.02.13
申请号 DE19853585048 申请日期 1985.04.22
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 YAMAMOTO, SHIGEHIKO, TOKOROZAWA-SHI SAITAMA-KEN, JP
分类号 H01L21/268;C23C14/54;C30B23/08;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/54 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
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