| 发明名称 |
METHOD FOR SYNTHESIZING DIAMOND FILM AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06340495(A) |
申请公布日期 |
1994.12.13 |
| 申请号 |
JP19930124539 |
申请日期 |
1993.05.27 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
ITANI TSUKASA;KURIHARA KAZUAKI;SASAKI KENICHI |
| 分类号 |
B01J19/12;C30B29/04;C30B30/00;(IPC1-7):C30B29/04 |
主分类号 |
B01J19/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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