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发明名称 Continuous process for the preparation of silicon nitride by carbonitridation
摘要
申请公布号 EP0557163(B1) 申请公布日期 1996.04.24
申请号 EP19930400330 申请日期 1993.02.09
申请人 ELF ATOCHEM S.A. 发明人 BACHELARD, ROLAND;DISSON, JEAN-PIERRE;MORLHON, BRUNO
分类号 C01B21/068;C04B35/626;(IPC1-7):C01B21/068 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
主权项
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