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发明名称 THREE-DIMENSIONAL X-RAY INSPECTION DEVICE FOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH09178454(A) 申请公布日期 1997.07.11
申请号 JP19950351842 申请日期 1995.12.27
申请人 MARCOM:KK 发明人 HARADA MANABU
分类号 G01B15/00;(IPC1-7):G01B15/00 主分类号 G01B15/00
代理机构 代理人
主权项
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