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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10163204(A) 申请公布日期 1998.06.19
申请号 JP19960324238 申请日期 1996.12.04
申请人 YAMAHA CORP 发明人 TAWARA TAKASHI
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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