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发明名称 CAPACITOR OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10163455(A) 申请公布日期 1998.06.19
申请号 JP19970325723 申请日期 1997.11.27
申请人 LG SEMICON CO LTD 发明人 ON CHORU ZO
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/08;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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