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发明名称 SYSTEM AND METHOD FOR REDUCING PARTICLES IN EPITAXIAL REACTORS
摘要
申请公布号 EP1097251(A1) 申请公布日期 2001.05.09
申请号 EP19990932209 申请日期 1999.06.30
申请人 ASM AMERICA, INC. 发明人 DOLEY, ALLAN, D.;GOODWIN, DENNIS, L.;O'NEILL, KENNETH;VRIJBURG, GERBEN;RODRIGUEZ, DAVID;AGGARWAL, RAVINDER
分类号 C23C16/44;C30B25/08;C30B29/14;H01L21/205;H01L21/677;(IPC1-7):C23C16/00;C30B23/06 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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