Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung einer integrierten Halbleiterschaltung

摘要

Die Vielseitigkeit einer zur Verwendung in einer Burn-in-Untersuchungsoperation geeigneten Untersuchungsvorrichtung wird in der Weise verbessert, daß die Untersuchung verschiedener integrierter Halbleiterschaltungen vorgenommen werden kann. Es sind mehrere Weitergabeanschlußstifte (18) vorgesehen, die mit auf eine Grundplatte (12) gelegten Verdrahtungsmustern elektrisch verbunden sind. Auf der Grundplatte (12) sind Sockel (14) zur Aufnahme einer integrierten Halbleiterschaltung angebracht. Es ist eine Austauschplatte (22; 26) zum elektrischen Verbinden von Sockelanschlußpunkten (24) des Sockels (14) mit spezifischen Weitergabeanschlußstiften (18) vorgesehen. Die Austauschplatte (22; 26) ist über Abstandsstücke (20) an der Grundplatte (12) angebracht. Die Austauschplatte (22; 26) und der Sockel (14) werden gemäß dem Typ der integrierten Halbleiterschaltungen ersetzt.